超滑所近五年的主要研究方向聚焦在研发基于微米尺度结构超滑体系的、能满足国家重大需求或具有巨大市场前景的革命性技术产品，如基于结构超滑的微纳发电机、微纳传感器、下一代存储技术，以及基于先进跨尺度力学设计且具有独特结构超滑特性的宏观产品等。这些产品的俘能或节能能力、品质、寿命等将比传统产品有数量级提高。同时，超滑所将建设全球领先的结构超滑微加工平台。
超滑所暨超滑平台拥有世界一流的微纳加工设备及能力，并对外开放服务。目前超滑所和超滑平台总使用面积3700平方米，其中洁净实验室面积达1000平方米（百级洁净区130平方米，千级洁净区870平方米），包括一条完备的3～6英寸超滑微纳器件加工研发线，部分设备可实现8英寸基片加工。平台拥有光刻设备、薄膜沉积设备、刻蚀设备、表征测试设备、器件后道封装设备以及自主研发的超滑实验设备等共计200余台套，总投入逾1.5亿元。

超滑所近五年的主要研究方向聚焦在研发基于微米尺度结构超滑体系的、能满足国家重大需求或具有巨大市场前景的革命性技术产品，如基于结构超滑的微纳发电机、微纳传感器、下一代存储技术，以及基于先进跨尺度力学设计且具有独特结构超滑特性的宏观产品等。这些产品的俘能或节能能力、品质、寿命等将比传统产品有数量级提高。同时，超滑所将建设全球领先的结构超滑微加工平台。
超滑所暨超滑平台拥有世界一流的微纳加工设备及能力，并对外开放服务。目前超滑所和超滑平台总使用面积3700平方米，其中洁净实验室面积达1000平方米（百级洁净区130平方米，千级洁净区870平方米），包括一条完备的3～6英寸超滑微纳器件加工研发线，部分设备可实现8英寸基片加工。平台拥有光刻设备、薄膜沉积设备、刻蚀设备、表征测试设备、器件后道封装设备以及自主研发的超滑实验设备等共计200余台套，总投入逾1.5亿元。